Page 33 - กำหนดมาตรฐานผลิตภัณฑ์อุตสาหกรรม นาโนเทคโนโลยี เล่ม๗
P. 33
มอก. 2691 เลม 7–2559
ี
ั
ตารางท 2 การเปรยบเทยบลกษณะของ BSC
ี
ี
่
(ขอ 8.3.5.2)
การใชงาน
ิ
ี
ความเรว สารเคมเปนพษ
็
ิ
BSC ตกกระทบ รปแบบการไหลของอากาศ สารเคมเปนพษ
ี
ู
Class และ และนวไคลดกมมนตรงสี
ิ
ั
ั
ั
(m/s) นวไคลดกมมนตรงสีท ี ่
ั
ิ
ั
ั
่
ี
ไมระเหย ทระเหย
่
I 0.381 เขาดานหนาผาน HEPA ไปสูภายนอก หรือ ใช เมือระบายอากาศเสียสู
จากภายในหองโดยผาน HEPA ภายนอก
ก,ข
ี
II, A1 0.381 หมุนเวยนภายในหอง 70%โดยผาน HEPA ใช (ในปริมาณนอย) ไมใช
ั
และอีก 30% ปลอยผาน HEPA กลบไปใน
ั
หองหรือทางปลองควน
ก,ข
II, B1 0.508 หมุนเวยนภายใน 30% และระบายออกอีก ใช ใช (ในปริมาณนอย)
ี
่
ี
ู
70% อากาศทออกจากตจะตองผาน HEPA
้
ั
ก,ข
ี
II, B2 0.508 ไมมีการหมุนเวยนอากาศ อากาศทงหมดจะ ใช ใช (ในปริมาณนอย)
ระบายสูภายนอกโดยผาน HEPA
II, A2 0.508 เหมือน II, A1 แตความเร็วของอากาศเขาเปน ใช เมือปลอยอากาศเสียสู
่
ิ
ู
ํ
่
ั
0.508 m/s และความดนภายในตตองตากวา ภายนอก (เดมเปน“B3”)
ก,ข
ั
ความดนในหอง อากาศเสียสงออกขางนอก (ในปริมาณนอย)
ทางปลองควน
ั
ก,ข
III N/A อากาศเขาตองผานการกรองดวย HEPA ใช ใช (ในปริมาณนอย)
อากาศเสียตองผาน HEPA 2 ชนซอนกน
ั
้
ั
ิ
ิ
่
ั
ก การตดตงตองมทอชนดพิเศษทีเชอมตอภายนอก มตลบกรองถาน และมอเตอรปองกนไฟ (ปองกนระเบด) และชนสวนอิเลกทรอนิกสอืน ๆ ภายในต ู
ี
ิ
้
ั
ั
ี
ั
ิ
้
็
่
ื
่
ื
ไมควรระบายอากาศจาก BSC Class I หรอ Class II (A2) ไปในหองเมอใชสารระเหย
ื
่
ี
ํ
ข ไมควรใหความเขมขนของสารเคมเขาใกลเกณฑตาสดทจะเกดสภาพทระเบดได ของสารเคมนน ๆ
่
่
ี
ุ
ิ
่
ั
้
ี
ิ
ี
่
่
ู
ี
ตทมอากาศไหลแบบเรยบ (laminar flow) ไมจัดวาเปน BSC เนืองจากไมไดออกแบบใหปกปอง
ี
ี
่
ั
ั
ิ
ผปฏบตงานหรอสภาวะแวดลอมจากสารเคมอนตรายได แตออกแบบมาเพอรกษาความสะอาด
ั
ี
ิ
ู
ื
ื
ใหกับวัสดุ โดยอากาศทผานการกรองดวยแผนกรอง HEPA จะผานไปยังวัสดุแลวไหลออก
่
ี
ู
่
ี
ั
ิ
่
ึ
ิ
ู
ิ
ทางดานหนาตซงเปนบรเวณทผปฏบตงานอยู
8.3.5.3 การระบายอากาศทัวไป
่
ิ
่
่
่
ํ
ี
การระบายอากาศทัวไป คอการเจือจางอากาศในสภาวะแวดลอมททางานและนาสงปนเปอนออก
ื
ํ
ู
ไปสภายนอก หากใชการระบายอากาศแบบทวไปสาหรบควบคมทางวิศวกรรมเพยงอยางเดียวจะ
ั
่
ํ
ุ
ั
ี
ิ
ทาใหผปฏบตงานไดรบวัสดุนาโนในขณะทางานได หากใชระบบ LEV ในกระบวนการทเปน
่
ี
ิ
ู
ั
ํ
ํ
ั
-31-
